技术参数：
    抽速：500～5000m³/h
    极限真空度：＜0.01mbar
    噪音：75dB
    冷却方式：水冷

主要特性及优点：
1、无油真空泵
    由于真空腔内没有油润滑，因此粉尘不会存留在泵腔内，而是随着气体从排气口排出泵外。

2、无油压缩真空泵由于气体在泵内有压缩，因此消耗功率低。
3、N2清洗系统，抗腐蚀能力增强。
4、泵腔外壳可方便地拆卸，便于清洗螺杆，并可在客户现场完成。
5、螺杆表面有非常坚硬的涂层，能抵抗大部分腐蚀性气体。
6、泵腔内部无轴承和密封，大大降低了故障率。
7、水冷却装置确保真空泵的温度始终保持在安全范围以内，延长螺杆式干泵的工作时间。
8、密封无接触，无磨损，无需维护和更换。
9、易于维护的设计理念，日常的简单维护极其方便。
10、温度和电流保护系统，可以在泵需要维护前报警，出现故障时自动关机。

典型应用：

半导体行业-CVD等工艺
    工业炉——冶炼和热处理
    真空焊接——电子束焊等
    镀膜——大面积镀膜等
    真空干焊——食品和药品的干焊
    包装工业
    空间模拟
    科研领域