技术参数:
抽速:40~500m3/h
极限真空度:<0.01mbar
噪音:75dB
冷却方式:水冷
主要特性及优点:
1、无油真空泵
由于真空腔内没有油润滑,因此粉尘不会存留在泵腔内,而是随着气体从排气口排出泵外。
2、无油压缩真空泵由于气体在泵内有压缩,因此消耗功率低。
3、N2清洗系统,抗腐蚀能力增强。
4、泵腔外壳可方便地拆卸,便于清洗螺杆,并可在客户现场完成。
5、螺杆表面有非常坚硬的涂层,能抵抗大部分腐蚀性气体。
6、泵腔内部无轴承和密封,大大降低了故障率。
7、水冷却装置确保真空泵的温度始终保持在安全范围以内,延长螺杆式干泵的工作时间。
8、密封无接触,无磨损,无需维护和更换。
9、易于维护的设计理念,日常的简单维护极其方便。
10、温度和电流保护系统,可以在泵需要维护前报警,出现故障时自动关机。
典型应用:
半导体行业-CVD等工艺
工业炉——冶炼和热处理
真空焊接——电子束焊等
镀膜——大面积镀膜等
真空干焊——食品和药品的干焊
包装工业
空间模拟
科研领域